作為一種測量儀器，
懸臂式測量機通過比較被測的量與標準量，并將比較結果用數值表示出來。因此，測量機需要3個方向的標準器，利用導軌實現沿相應方向的運動，還需要三維測頭對被測量進行探測和瞄準。
溫度誤差又稱為熱變形誤差。但需要說明，它不是溫度本身的誤差，而是由于溫度因素而引起的幾何參數的測量誤差。形成溫度誤差的主要因素有以下幾個：
1、被測物體的尺寸隨溫度變化。即被測物體的線膨脹系數不可能為零。目前很多常用材料的線膨脹系數都有公布的相關數據，可以很容易地查到其線膨脹系數。
2、測量機本身尺寸隨溫度變化。比如簡單的卡尺千分尺，到復雜的懸臂式測量機，其本身的制造材料線膨脹系數不可能為零，所以測量機本身結構尺寸會發生變化。這種誤差產生的原因，也是我們主要討論和解決的問題。
3、測量機性能隨溫度發生變化。比如電子測量儀器，內部的放大器的增益隨溫度發生變化；光電管的光電流發生變化等等。
一般測量儀器傳感器廠家，都會給出這些儀器本身的溫度相關參數。比如基恩士的激光位移傳感器LK-H025，標稱溫度特性為0.01%F.S./°C(F.S.=6mm)。
4、其它環境因素，比如在大多數的光學測量設備，由于溫度變化而引起大氣折射率的變化；超聲測量設備中，介質溫度變化會引起介質中傳播的聲速發生變化。
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